韓國(guó)蔚山國(guó)家科學(xué)技術(shù)研究所(UNIST)的一支研究團(tuán)隊(duì)打造出一種新型的傳感器陣列，能夠偵測(cè)從人體體重到手指輕觸等廣泛的壓力范圍。
目前，大多數(shù)的電晶體制造都采用硅通道以及基于硅氧化物的電介質(zhì)。然而，這些電晶體通常不是缺乏透明度就是不夠靈活，因而可能成為制造高整合的壓力傳感器陣列與透明壓力傳感器時(shí)的一大阻礙。
UNIST的研究人員開(kāi)發(fā)的這種新型的陣列技術(shù)十分具有發(fā)展前景，因?yàn)樗芨鶕?jù)偵測(cè)觸控動(dòng)作產(chǎn)生電訊號(hào)，并同顯示偵測(cè)物件的位置以及壓力的大小，而且還較傳統(tǒng)的壓力傳感器更具有透明度以及消耗較低功耗，這和目前針對(duì)圖形所用的觸控傳感器是不同的。
UNIST材料科與工程研究所教授Jang-Ung Park帶領(lǐng)研究團(tuán)隊(duì)共同進(jìn)行這項(xiàng)研究，他們采用高度導(dǎo)電且?guī)в锌諝饨殡妼拥耐该魇约澳軌蛟诳烧郫B基板一側(cè)擷取空氣的彈性體。
該陣列能夠偵測(cè)導(dǎo)致氣隙介電質(zhì)變形的滑動(dòng)、輕觸與手指的壓力，提供一種測(cè)量壓力大小與位置的方法。再者，相較于被動(dòng)矩陣類(lèi)型，這種新型的陣列所消耗的功率較少，反應(yīng)時(shí)間也更快。
Park表示：“利用空氣作為產(chǎn)生場(chǎng)效電晶體(FET)的介電層，能夠因?yàn)槭┩ǖ琅c空氣間的介面干凈，從而顯著提高電晶體的性能。此外，這種空氣介電層的厚度是由所施加的壓力而決定的，因此，透過(guò)這種技術(shù)，能夠更有效地偵測(cè)壓力的變化。”
這種傳感器能夠同時(shí)測(cè)量小于10kPa的任何物體，例如輕敲至大于2MPa、人體的重量等，此外，它還能應(yīng)用于3D觸控面板或慢跑鞋。這項(xiàng)研究結(jié)果已經(jīng)發(fā)表在最新一期的《自然通訊》(Nature Communications)期刊中。
